Transporter łodzi waflowych

Semicorex Wafer Boat Carrier wykonany jest z grafitu, który słynie z wyjątkowego stosunku wytrzymałości do masy i przewodności cieplnej. Jednakże, aby zwiększyć jego trwałość, każdy zbiornik poddawany jest procesowi powlekania CVD SiC. Powłoka ta nie tylko wzmacnia łódź przed trudnymi warunkami przetwarzania, ale także chroni ją przed korozją chemiczną i szokami termicznymi, zapewniając trwałość i niezawodność nawet w najbardziej wymagających warunkach.

Bagażnik do łodzi Wafer został zaprojektowany z niezwykłą dbałością o szczegóły. Jego struktura jest zoptymalizowana pod kątem maksymalnej wydajności i bezpieczeństwa, z precyzyjnymi wymiarami i starannie zaprojektowaną geometrią, która zapewnia bezpieczne i stabilne umieszczanie delikatnych płytek półprzewodnikowych podczas przetwarzania. Minimalizuje to ryzyko uszkodzenia lub zanieczyszczenia.

Wafer Boat Carrier to wszechstronne rozwiązanie, które można dostosować do niezliczonych zastosowań. Można go stosować we wzroście epitaksjalnym, chemicznym osadzaniu z fazy gazowej i innych procesach produkcji półprzewodników. Solidna konstrukcja i obojętność chemiczna sprawiają, że jest on kompatybilny z szeroką gamą chemii procesowej, zapewniając bezproblemową integrację z różnorodnymi środowiskami procesowymi.