Łódź Waflowa

Semicorex Wafer Boat został zaprojektowany tak, aby wytrzymać trudne warunki panujące w piecu dyfuzyjnym, takie jak wysokie temperatury, środowiska korozyjne i konieczność precyzyjnego umieszczania płytek podczas procesu dyfuzji.

Łódka waflowa wykonana jest z ceramiki z węglika krzemu, wybranej ze względu na jej wyjątkowe właściwości. Węglik krzemu znany jest ze swojej wysokiej przewodności cieplnej, zapewniającej równomierny rozkład temperatury w płytkach podczas dyfuzji. Ta jednorodność ma kluczowe znaczenie dla utrzymania integralności płytek i zapewnienia stałych poziomów domieszkowania, które są niezbędne dla funkcjonalności produkowanych urządzeń półprzewodnikowych. Dodatkowo wysoka temperatura topnienia i stabilność termiczna węglika krzemu umożliwiają pracę łodzi waflowej w podwyższonych temperaturach wymaganych w procesach dyfuzyjnych, często przekraczających 1000°C, bez degradacji i zniekształceń.

Jedną z kluczowych zalet ceramiki z węglika krzemu w łodzi waflowej jest jej doskonała odporność chemiczna. Opór ten jest szczególnie ważny dla utrzymania czystości płytek półprzewodnikowych, ponieważ wszelkie zanieczyszczenia mogą prowadzić do defektów w produkcie końcowym, pogarszając wydajność układów scalonych.

Integralność strukturalna łodzi Wafer Boat jest kolejnym krytycznym czynnikiem przy jej projektowaniu. Konstrukcja musi zapewniać bezpieczne utrzymanie płytek na miejscu, z zachowaniem dokładnych odstępów umożliwiających równomierną ekspozycję na reaktywne gazy. Ta precyzja jest niezbędna do uzyskania jednolitego domieszkowania wszystkich płytek, co bezpośrednio wpływa na charakterystykę elektryczną urządzeń półprzewodnikowych.

Oprócz swoich właściwości termicznych i chemicznych, ceramika z węglika krzemu oferuje doskonałą stabilność wymiarową, kluczową dla wysokich wymagań precyzyjnych w produkcji półprzewodników. Ta stabilność zapewnia, że ​​płytki pozostają idealnie wyrównane, co pozwala na dokładne i równomierne rozproszenie domieszek na całej powierzchni każdego płytki, co prowadzi do produkcji wysokiej jakości urządzeń półprzewodnikowych.

Semicorex Wafer Boat wykonany z ceramiki z węglika krzemu jest niezbędnym elementem w procesie dyfuzji półprzewodników. Jego wyjątkowa przewodność cieplna, odporność chemiczna, wytrzymałość mechaniczna i stabilność wymiarowa sprawiają, że idealnie nadaje się do wymagających warunków produkcji półprzewodników. Jego zastosowanie nie tylko zwiększa wydajność i niezawodność procesu dyfuzji, ale także przyczynia się do ogólnej opłacalności produkcji półprzewodników.