Łodzie płytki

Łodzie waflowe półkoryczne wytwarzane z węglików krzemowych (SIC) o dużej czystości są niezbędnymi składnikami w produkcji półprzewodników. Procesy półprzewodników, w których są one używane, zwykle obejmują środowiska o wysokiej temperaturze i korozyjne, takie jak dyfuzja, utlenianie i procesy LPCVD. Zastosowanie łodzi waflowych SIC zostało zaprojektowane w celu maksymalizacji stabilności termicznej i odporności chemicznej, umożliwiając optymalne wsparcie, wyrównanie i transport wafle krzemowych podczas przetwarzania w celu optymalnych plonów i wydajności urządzenia.

Krzem krzemowy jest dobrze udokumentowany jako doskonała termicznie przewodząca ceramika, wykazująca wysoką wytrzymałość mechaniczną i doskonałą odporność na wstrząs cieplną, odporność na utlenianie i agresywna odporność chemiczna z chemikaliami, takimi jak HF i HCL. Właściwości SIC sprawiają, że jest to szczególnie atrakcyjne jako materiał na łodzie opłatek do procesów półprzewodnikowych nowej generacji i środowisk o wysokiej temperaturze. Łodzie waflowe SIC mogą utrzymywać integralność strukturalną i stabilność wymiarową w temperaturach procesu> 1500 ° C, minimalizując ryzyko wypaczenia lub zanieczyszczenia waflów w krytycznych obróbkach termicznych.

Każdy sicŁódź opłatjest wytwarzany z SIC o wysokiej czystości przy użyciu zaawansowanych procesów formowania ceramicznego i spiekania i można je dostosować do szerokiego zakresu średnic waflowych (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm), a także konfiguracji układania w stosy, czy poziomy. Nasze łodzie SIC waflowe mają gładkie powierzchnie i doskonałą płaskość, która minimalizuje wytwarzanie cząstek i są idealne do automatycznych systemów obsługi opłat.

Kontrola zanieczyszczenia i wydajność są dwoma najważniejszymi problemami we współczesnych FAB. Czystość i niezawodność przewoźników SIC wpływają na jakość produktu i wydajność procesu spójności.  Łodzie waflowe SIC mają znacznie lepszą długowieczność w zakresie użytkowania, mają mniej wymagań konserwacyjnych i niższe TCO niż alternatywy oparte na kwarcu lub glinu. Lepsza długowieczność oznacza również mniej problemów z zrzucaniem mikro-cząstek, dlatego ponownie wpływa na czystość powierzchni opłat i wpływa na czystość czystej pomieszczenia.

SemiCorex koncentruje się na projektowaniu i produkcji łodzi opłatek, które wykorzystują najwyższe możliwe surowce czystości w połączeniu z spiekaniem atmosfery o niskim zanieczyszczeniu.  Dokładamy wszelkich starań, aby utrzymać niski poziom zanieczyszczenia, utrzymać porowatość o niskiej wartości i jednolitą mikrostrukturę, aby praca zespołu mogła regularnie cieszyć się spójnymi cechami termicznymi, precyzyjnymi odstępami od płytki i niezrównanej odporności na degradację chemiczną.

SEMICOREX SICŁodzie płytkisą niezbędnym elementem przetwarzania półprzewodników o wysokiej temperaturze. Łódki z waflami silikonowymi o wysokiej walce mają niezrównane właściwości materiałowe, inżynierię doskonałości i temperamentu bez mikrokontaminacji, sprawiają, że są wyborem wysokiego poziomu do wytwarzania opłat. SemiCorex zapewnia niezawodność i innowacyjną wysoką wydajność, aby wspierać najbardziej krytyczne procesy półprzewodników.