Taca na wafle

Semicorex dostarcza ceramikę klasy półprzewodnikowej do narzędzi do półprzewodników OEM i komponentów do obsługi płytek, koncentrując się na warstwach węglika krzemu w przemyśle półprzewodników. Od wielu lat jesteśmy producentem i dostawcą tacy na wafle. Nasza taca na wafle ma dobrą przewagę cenową i obejmuje większość rynków europejskich i amerykańskich. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Nie tylko do faz osadzania cienkowarstwowych, takich jak epitaksja lub MOCVD, czy też do obróbki płytek, Semicorex dostarcza ultraczysty nośnik ceramiczny stosowany do podtrzymywania płytek. Podstawą procesu jest taca waflowa dla MOCVD, która jest najpierw poddawana działaniu środowiska osadzania, dzięki czemu charakteryzuje się wysoką odpornością na ciepło i korozję. Nośnik pokryty SiC ma również wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.
Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszej tacy na wafle.

Parametry tacy na wafle

Właściwości techniczne
Indeks	Jednostka	Wartość
Nazwa materiału		Reakcyjny spiekany węglik krzemu	Bezciśnieniowy spiekany węglik krzemu	Rekrystalizowany węglik krzemu
Kompozycja		RBSiC	SSiC	R-SiC
Gęstość nasypowa	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Wytrzymałość na zginanie	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Wytrzymałość na ściskanie	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Twardość	Przycisk	2700	2800	/
Przełamanie wytrzymałości	MPa m1/2	4.5	4	/
Przewodność cieplna	W/m.k	95	120	23
Współczynnik rozszerzalności cieplnej	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Ciepło właściwe	Dżul/g 0k	0.8	0.67	/
Maksymalna temperatura powietrza	℃	1200	1500	1600
Moduł sprężystości	GP	360	410	240

Różnica między SSiC i RBSiC:

1. Proces spiekania jest inny. RBSiC polega na infiltracji wolnego Si do węglika krzemu w niskiej temperaturze, SSiC powstaje w wyniku naturalnego skurczu w temperaturze 2100 stopni.

2. SSiC ma gładszą powierzchnię, większą gęstość i większą wytrzymałość. W przypadku niektórych uszczelnień o bardziej rygorystycznych wymaganiach dotyczących powierzchni lepszy będzie SSiC.

3. Różny czas użytkowania przy różnym PH i temperaturze, SSiC jest dłuższy niż RBSiC

Cechy tacy na wafle

- Powłoki CVD z węglika krzemu poprawiające żywotność.
- Izolacja termiczna wykonana z wysokowydajnego oczyszczonego sztywnego węgla.
- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.
- Grafit o wysokiej czystości i powłoka SiC zapewniająca odporność na dziury i dłuższą żywotność

Dostępne kształty ceramiki z węglika krzemu:

● Ceramiczny pręt / ceramiczny trzpień / ceramiczny tłok

● Rura ceramiczna / tuleja ceramiczna / tuleja ceramiczna

● Pierścień ceramiczny / podkładka ceramiczna / przekładka ceramiczna

● Dysk ceramiczny

● Płyta ceramiczna / blok ceramiczny

● Kulka ceramiczna

● Tłok ceramiczny

● Dysza ceramiczna

● Tygiel ceramiczny

● Inne niestandardowe części ceramiczne