Taca na wafle

Semicorex dostarcza ceramikę klasy półprzewodnikowej do narzędzi do półfabrykacji OEM i komponentów do obsługi płytek, koncentrując się na warstwach węglika krzemu w przemyśle półprzewodnikowym. Od wielu lat jesteśmy producentem i dostawcą tacy waflowej. Nasza taca nośna na wafle ma dobrą przewagę cenową i obejmuje większość rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Nie tylko do faz osadzania cienkich warstw, takich jak epitaksja lub MOCVD, czy przetwarzania płytek, Semicorex dostarcza ultraczyste nośniki ceramiczne używane do podtrzymywania płytek. W centrum procesu, taca nośna wafla dla MOCVD, jest najpierw poddawana działaniu środowiska osadzania, dzięki czemu ma wysoką odporność na ciepło i korozję. Nośnik powlekany SiC ma również wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.
Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszej tacy na wafle.

Parametry tacy nośnej wafli

Właściwości techniczne
Indeks	Jednostka	Wartość
Nazwa materiału		Reakcja Spiekany Węglik Krzemu	Bezciśnieniowy spiekany węglik krzemu	Rekrystalizowany węglik krzemu
Kompozycja		RBSiC	SSiC	R-SiC
Gęstość nasypowa	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Wytrzymałość na zginanie	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Wytrzymałość na ściskanie	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Twardość	Knoop	2700	2800	/
Łamanie wytrzymałości	MPa m1/2	4.5	4	/
Przewodność cieplna	W/mk	95	120	23
Współczynnik rozszerzalności cieplnej	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Ciepło właściwe	Dżul/g 0k	0.8	0.67	/
Maksymalna temperatura powietrza	℃	1200	1500	1600
Moduł sprężystości	Gpa	360	410	240

Różnica między SSiC a RBSiC:

1. Proces spiekania jest inny. RBSiC ma infiltrować wolny Si do węglika krzemu w niskiej temperaturze, SSiC powstaje w wyniku naturalnego skurczu w temperaturze 2100 stopni.

2. SSiC ma gładszą powierzchnię, większą gęstość i większą wytrzymałość, w przypadku niektórych uszczelnień o bardziej rygorystycznych wymaganiach dotyczących powierzchni SSiC będzie lepszy.

3. Inny czas użytkowania w różnych PH i temperaturach, SSiC jest dłuższy niż RBSiC

Cechy tacy na wafle

- Powłoki CVD z węglika krzemu poprawiające żywotność.
- Izolacja termiczna wykonana z wysokowydajnego oczyszczonego sztywnego węgla.
- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.
- Powłoka z grafitu o wysokiej czystości i SiC zapewnia odporność na przebicia i dłuższą żywotność

Dostępne kształty ceramiki z węglika krzemuï¼

Pręt ceramiczny / kołek ceramiczny / tłok ceramiczny

â Rura ceramiczna / tuleja ceramiczna / tuleja ceramiczna

â Pierścień ceramiczny / podkładka ceramiczna / przekładka ceramiczna

â Płyta ceramiczna

â Płytka ceramiczna / blok ceramiczny

â Kula ceramiczna

Tłok ceramiczny

â Dysza ceramiczna

Tygiel ceramiczny

â Inne niestandardowe części ceramiczne