Semicorex jest Twoim partnerem w ulepszaniu przetwarzania półprzewodników. Nasze powłoki z węglika krzemu są gęste, odporne na wysoką temperaturę i chemikalia, które są często stosowane w całym cyklu produkcji półprzewodników, w tym w obróbce płytek półprzewodnikowych i płytek oraz w produkcji półprzewodników.
Komponenty ceramiczne SiC o wysokiej czystości mają kluczowe znaczenie dla procesów zachodzących w półprzewodnikach. Nasza oferta obejmuje części eksploatacyjne do urządzeń do przetwarzania płytek, takich jak łódka z węglika krzemu, łopatki wspornikowe, rury itp. do urządzeń Epitaxy lub MOCVD.
Zalety procesów półprzewodnikowych
Fazy osadzania cienkowarstwowego, takie jak epitaksja lub MOCVD, lub przetwarzanie płytek, takie jak trawienie lub implant jonowy, muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Semicorex dostarcza konstrukcję z węglika krzemu (SiC) o wysokiej czystości, która zapewnia doskonałą odporność na ciepło i trwałą odporność chemiczną, a nawet jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi.
Pokrywy komór →
Pokrywy komór stosowane w hodowli kryształów i przetwarzaniu płytek muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne.
Wiosło wspornikowe →
Łopatka wspornikowa jest kluczowym elementem stosowanym w procesach produkcji półprzewodników, szczególnie w piecach dyfuzyjnych lub piecach LPCVD podczas procesów takich jak dyfuzja i RTP.
Rura procesowa →
Rura procesowa to kluczowy element, specjalnie zaprojektowany do różnych zastosowań w przetwarzaniu półprzewodników, takich jak RTP i dyfuzja.
Łódki waflowe →
Wafer Boat jest używany w przetwarzaniu półprzewodników. Został starannie zaprojektowany, aby zapewnić bezpieczeństwo delikatnych płytek podczas krytycznych etapów produkcji.
Pierścienie wlotowe →
Pierścień wlotowy gazu pokryty SiC przez sprzęt MOCVD. Mieszanka ma wysoką odporność na ciepło i korozję, co zapewnia dużą stabilność w ekstremalnych warunkach.
Pierścień ostrości →
Semicorex dostarcza pierścień ostrości pokryty węglikiem krzemu, który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.
Uchwyt waflowy →
Ultrapłaskie, ceramiczne uchwyty do płytek próżniowych Semicorex są pokryte SiC o wysokiej czystości, stosowanym w procesie obsługi płytek.
Semicorex oferuje również produkty ceramiczne z tlenku glinu (Al2O3), azotku krzemu (Si3N4), azotku glinu (AIN), tlenku cyrkonu (ZrO2), ceramiki kompozytowej itp.
Pierścienie izolacyjne z azotku aluminium Semicorex są niezbędnymi elementami w zaawansowanej produkcji półprzewodników, szczególnie w procesach obróbki cieplnej o wysokiej częstotliwości. Ich unikalne połączenie stabilności w wysokiej temperaturze, doskonałych właściwości uszczelniających, wyjątkowej przewodności cieplnej i naturalnej trwałości sprawia, że są one niezbędne do zapewnienia precyzyjnej kontroli procesu, wysokiej wydajności urządzeń i wydłużonej żywotności sprzętu w wymagającym środowisku produkcji półprzewodników. W Semicorex specjalizujemy się w produkcji i dostarczaniu wysokiej jakości pierścieni izolacyjnych z azotku aluminium, które łączą jakość z opłacalnością.**
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyty elektrostatyczne Semicorex z azotku aluminium oferują fascynującą kombinację właściwości, które sprawiają, że idealnie nadają się do wymagających zastosowań w obróbce płytek półprzewodnikowych. Ich zdolność do zapewnienia bezpiecznego i równomiernego mocowania płytek, doskonałego zarządzania temperaturą i odporności na trudne warunki przetwarzania przekłada się na lepszą wydajność urządzenia, wyższą wydajność i obniżone koszty produkcji. W firmie Semicorex specjalizujemy się w produkcji i dostarczaniu wysokowydajnych uchwytów elektrostatycznych z azotku aluminium, które łączą jakość z opłacalnością.**
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyty inspekcyjne Semicorex SiC do płytek półprzewodnikowych to kluczowe elementy umożliwiające zaawansowaną produkcję półprzewodników, spełniające rosnące wymagania w zakresie precyzji, czystości i wydajności. Ich doskonałe właściwości materiałowe przekładają się na wymierne korzyści w całym procesie produkcji płytek, ostatecznie przyczyniając się do wyższej wydajności, lepszej wydajności urządzenia i niższych ogólnych kosztów produkcji. W firmie Semicorex specjalizujemy się w produkcji i dostarczaniu wysokowydajnych uchwytów inspekcyjnych do płytek SiC, które łączą jakość z opłacalnością.**
Czytaj więcejWyślij zapytanieCeramiczne ramię robota Semicorex Alumina, znane również jako ceramiczne ramię robota do obsługi płytek lub widełki do obsługi ceramicznych płytek krzemowych, to wysokowydajny komponent sprzętu półprzewodnikowego. Jego konstrukcja uwzględnia rygorystyczne wymagania produkcji półprzewodników. Dzięki swojej odporności na wysoką temperaturę, odporności na zużycie, stabilności chemicznej i doskonałym właściwościom izolacji elektrycznej, ramię ceramiczne z tlenku glinu odgrywa niezastąpioną rolę w światowym przemyśle produkcji półprzewodników. W Semicorex specjalizujemy się w produkcji i dostarczaniu wysokowydajnego ramienia robota z ceramiki z tlenku glinu, które łączy jakość z opłacalnością.**
Czytaj więcejWyślij zapytanieZaawansowane właściwości materiału rury pieca dyfuzyjnego Semicorex SiC, w tym wysoka wytrzymałość na zginanie, wyjątkowa odporność na utlenianie i korozję, wysoka odporność na zużycie, niski współczynnik tarcia, doskonałe właściwości mechaniczne w wysokich temperaturach i bardzo wysoka czystość, sprawiają, że jest ona niezastąpiona w przemyśle półprzewodników , szczególnie do zastosowań w piecach dyfuzyjnych. W Semicorex zajmujemy się produkcją i dostarczaniem wysokowydajnych rur pieca dyfuzyjnego SiC, które łączą jakość z opłacalnością.**
Czytaj więcejWyślij zapytanieDzięki wysokiej jakości właściwościom materiału, łódź dyfuzyjna Semicorex SiC zapewnia optymalną funkcjonalność w szerokim spektrum parametrów operacyjnych: twardość, sprężystość oraz odporność termiczna i chemiczna itp. Ten wybór materiału ma kluczowe znaczenie dla zmniejszenia ryzyka zanieczyszczenia, ochrony płytek i trwałości wymagające warunki występujące w procesach produkcji półprzewodników. W Semicorex specjalizujemy się w produkcji i dostarczaniu wysokowydajnych łodzi dyfuzyjnych SiC, które łączą jakość z opłacalnością.**
Czytaj więcejWyślij zapytanie