Elektrody z monokrystalicznego krzemu

Elektrody krzemowe monokrystalicznesą zwykle instalowane na górze komory trawienia i służą jako elektroda górna. Na powierzchni monokrystalicznych elektrod krzemowych znajdują się równomiernie rozmieszczone mikrootwory, które mogą równomiernie dostarczać gaz trawiący do komory reakcyjnej. Podczas procesu trawienia współpracują z dolną elektrodą, aby wytworzyć jednolite pole elektryczne, co przyczynia się do zapewnienia idealnych warunków pracy do precyzyjnego trawienia.

Staranny dobór materiałów

Semicorex wybiera najwyższej jakości krzem monokrystaliczny wytwarzany przez firmę MCZ do produkcji monokrystalicznych elektrod krzemowych, oferując wiodącą w branży wydajność i jakość produktu.

1. Bardzo wysoka czystość

Monokrystaliczne elektrody krzemowe Semicorex charakteryzują się ultrawysoką czystością przekraczającą 99,9999999%, co oznacza, że ​​zawartość wewnętrznych zanieczyszczeń metalicznych jest wyjątkowo niska.

2. Wyjątkowa jednorodność oporu

W odróżnieniu od konwencjonalnego krzemu monokrystalicznego CZ, krzem monokrystaliczny hodowany w MCZ stosowany przez firmę Semicorex osiąga jednorodność rezystywności poniżej 5%. Jego niska rozdzielczość. jest kontrolowana poniżej 0,02 Ω·cm, średnia rozdz. wynosi od 0,2 do 25 Ω·cm i charakteryzuje się wysoką rozdzielczością. wynosi od 70 do 90 Ω·cm (dostosowanie jest dostępne na życzenie).

3. Doskonała struktura materiału

Monokrystaliczny krzem hodowany metodą MCZ oferuje bardziej stabilną strukturę i mniej defektów, dzięki czemu monokrystaliczne elektrody krzemowe Semicorex zapewniają niezwykłą odporność na korozję plazmową i wytrzymują trudne warunki pracy podczas trawienia.

---

Wysoka precyzja obróbki

Półcorexmonokrystaliczny krzemElektrody są wytwarzane w pełnym procesie produkcyjnym, od wlewka krzemowego do gotowego produktu, obejmującego cięcie, szlifowanie powierzchni, wiercenie otworów, trawienie na mokro i polerowanie powierzchni. Semicorex przestrzega rygorystycznej kontroli precyzji na każdym etapie, aby zapewnić utrzymanie średnicy, grubości, płaskości powierzchni, rozstawu otworów i apertury elektrod w idealnych tolerancjach.

1. Obróbka mikrootworowa

Mikrootworki na monokrystalicznych elektrodach krzemowych charakteryzują się jednakowymi odstępami i stałą średnicą (w zakresie od 0,2 do 0,8 mm) oraz gładkimi i pozbawionymi zadziorów ściankami wewnętrznymi. Skutecznie gwarantuje to równomierny i stabilny dopływ gazu trawiącego, zapewniając w ten sposób równomierność i precyzję trawienia płytek.

2. Dokładność przetwarzania

Dokładność obróbki monokrystalicznych elektrod krzemowych Semicorex jest kontrolowana w granicach 0,3 mm, a ich precyzja polerowania może być ściśle kontrolowana poniżej 0,1 µm, a szlifowanie dokładne jest mniejsze niż 1,6 µm.